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KOSAKA 小坂研究所半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室
產(chǎn)品型號:DSF-L800臺階儀臺階儀微細(xì)形狀測定機(jī)
產(chǎn)品品牌:KOSAKA小坂研究所
產(chǎn)品介紹:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創(chuàng)業(yè)以來,一直以使用精密工程學(xué)技術(shù)被信賴的“技術(shù)”為口號,開發(fā)、銷售商品群。擁有以形狀測量機(jī)為中心的精密機(jī)器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機(jī)器、以及半導(dǎo)體制造相關(guān)裝置、自動包裝機(jī)等自動設(shè)備三個領(lǐng)域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

詳細(xì)介紹

DSF-L800

高い分解能で広いダイナミックレンジの測定を可能にした、デジタル表面形狀?粗さ測定機(jī)です。

  • 変位検出器にデジタルセンサを組み込み、“輪郭形狀”と“表面粗さ”をワンスキャンで同時測定が可能。
  • より高度な解析機(jī)能、プラトー表面解析ソフトと接觸點(diǎn)フィルタを標(biāo)準(zhǔn)裝備。
  • 検出器過負(fù)荷停止機(jī)能標(biāo)準(zhǔn)裝備。
Z分解能/測定範(fàn)囲 0.75nm / ±6mm
Z検出方式  半導(dǎo)體レーザスケール
觸針 R2μm  0.7mN
解析項(xiàng)目 形狀解析(要素、スカラ量、統(tǒng)計(jì)量、マスタ比較、公差判定)
表面粗さ(JIS、ISO、DIN、ANSI、BS)
表面うねり(JIS)




株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司,也是日本一家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì),是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。

設(shè)備特點(diǎn):
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。


KOSAKA小坂粗糙度儀,粗度計(jì),粗度儀

KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機(jī)

KOSAKA小壇輪廓儀

KOSAKA小坂臺階儀,膜厚儀,薄膜測厚儀KOSAKA小坂圓度儀,真圓度儀,圓柱度儀

KOSAKA小坂測量儀配件

KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測量裝置

KOSAKA小坂微細(xì)深孔測量裝置
KOSAKA小坂晶圓檢測裝置

KOSAKA小坂關(guān)節(jié)管測量儀

KOSAKA小坂探針卡檢測設(shè)備

KOSAKA小坂高精度貼片機(jī)

KOSAKA小坂傳感器

表面粗度測定機(jī):
SE300,SE500,SE600,SE610,SE600K,SE600K31
SE700.SE4000.
表面粗度,輪廓形狀測定機(jī):
SEF580-G18,SEF580--G18D,SEF580-M50,SEF580-M58,SEF580-M58D.SEF680.SEF680K
細(xì)微形狀測走機(jī):
ET200,ET4000,ET10000
表面形狀,粗度測定機(jī):
DSF600.DSF900.
輪廓形狀測定機(jī):
EF550-G18,EF550-G18D,EF550-M50,EF550-M58,EF550-M58D,EF650,EF650D,REF100
真圓度,圓頭形狀測定機(jī):
EC600,EC1550H,EC1650H,EC1850H,EC2150,EC2500H,EC2700H,EC2500HF,EC2700
EC3300PEC3600A,EC3600B,EC3600CEC4100H,EC5100H,EC6100