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KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室
產(chǎn)品型號(hào)：全自動(dòng)臺(tái)階儀ET200針對(duì)半導(dǎo)體硅
產(chǎn)品品牌：KOSAKA小坂研究所
產(chǎn)品介紹：

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創(chuàng)業(yè)以來,一直以使用精密工程學(xué)技術(shù)被信賴的“技術(shù)”為口號(hào),開發(fā)、銷售商品群。擁有以形狀測(cè)量機(jī)為中心的精密機(jī)器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機(jī)器、以及半導(dǎo)體制造相關(guān)裝置、自動(dòng)包裝機(jī)等自動(dòng)設(shè)備三個(gè)領(lǐng)域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。
詳細(xì)介紹

SEF580A-G18D

“表面粗さ”と“輪郭形狀”の2つの測(cè)定が可能です。タッチパネル採用で「測(cè)定條件の切り替え」等の操作性に優(yōu)れ、多種多様なワークの測(cè)定に素早く対応できます。

  • 表面粗さ測(cè)定
    • 1回の測(cè)定で規(guī)格が異なるパラメータの解析ができ、新しい規(guī)格への移行がスムースに行えます。
  • 輪郭形狀測(cè)定
    • X軸の*大測(cè)定サンプリング數(shù)が64,000點(diǎn)と多く、高分解能で長距離の測(cè)定が可能です。

表面粗さ

測(cè)定範(fàn)囲/分解能 Z：600μm/0.08nm
送り速さ 0.02～10mm/s
觸針 R2μm  0.75mN以下

輪郭形狀

測(cè)定精度 Z：±0.25％（弊社規(guī)格）  X：±（1+0.02L)μm以下
L：測(cè)定長さ（mm）
測(cè)定範(fàn)囲 Z：50mm  X：100mm
觸針 R25μm  10～30mN
ET200是一款高精度表面形貌測(cè)量儀器，能夠測(cè)量臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度及薄膜應(yīng)力等參數(shù)。配備多種型號(hào)探針，具備程序控制接觸力和垂直范圍功能，并配有彩色CCD攝像頭進(jìn)行原位觀測(cè)。該設(shè)備采用機(jī)械直動(dòng)式設(shè)計(jì)，具有優(yōu)異的再現(xiàn)性和線性度，Z方向分辨率達(dá)到0.1nm，能實(shí)現(xiàn)長達(dá)100mm的長距離測(cè)量且對(duì)樣品無損傷。


株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本一家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為具代表性單位且在日本精密測(cè)定業(yè)占有一席無法被取代的地位。


設(shè)備特點(diǎn)：
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測(cè)量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。



KOSAKA小坂粗糙度儀，粗度計(jì)，粗度儀

KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機(jī)

KOSAKA小壇輪廓儀

KOSAKA小坂臺(tái)階儀，膜厚儀，薄膜測(cè)厚儀KOSAKA小坂圓度儀，真圓度儀，圓柱度儀

KOSAKA小坂測(cè)量儀配件

KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測(cè)量裝置

KOSAKA小坂微細(xì)深孔測(cè)量裝置
KOSAKA小坂晶圓檢測(cè)裝置

KOSAKA小坂關(guān)節(jié)管測(cè)量儀

KOSAKA小坂探針卡檢測(cè)設(shè)備

KOSAKA小坂高精度貼片機(jī)

KOSAKA小坂傳感器