24V電源經(jīng)濟性
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支持15～24VDC寬頻電源
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模擬輸出/輸入0-5VDC/4-20mA可選
標準規(guī)格
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傳感器
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熱式繞組傳感器
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閥門
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電磁比例閥（斷電時 關閉）
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對象氣體
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N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等
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流量范圍（N2換算）
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10SCCM～20SLM
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控制范圍
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2～100%F.S.
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響應性
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2sec以內(nèi)（within±2%F.S.）
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精度
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±1%F.S.（25℃）
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溫度系數(shù)
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±0.1%F.S./℃（15～35℃）
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重現(xiàn)性
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±0.5%F.S.
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動作壓差
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F.S.≦5SLM 50～300kPa、F.S.＞5SLM 100～300kPa
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入口*大圧?耐圧
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500kPa(G)
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耐圧
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1MPa(G)
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He泄漏率
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1×10-8Pa?m3/sec以下
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允許環(huán)境溫度
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5～45℃
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允許保存溫度
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-10～60℃
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允許周圍濕度
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10～90%RH（未出現(xiàn)冷凝）
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與氣體接觸的材質(zhì)
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SUS316L,SUS316,磁性不銹鋼,FKM(可選:NBR,CR)
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電気接続
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D-sub9九針 KFC standard（依據(jù)SEMI standard）
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模擬流量設定信號
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0～5VDC（輸入Z,1MΩ以上）or 4～20mA（輸入Z,250Ω）
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模擬流量輸出信號
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0～5VDC（負載電阻250kΩ以上）or 4～20mA（負載電阻300Ω以下）
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電源
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+15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）250mA
or 24VDC（±10%）450mA
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外部尺寸
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寬32mm × 高100mm(包含連接部）× 平面76mm(不包含接頭)
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接頭（本體口徑）
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標準：1/4SWL、可選：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4（9/16-18UNF）
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重量
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約1,000g
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