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MODEL 3660系列是一款質(zhì)量流量控制器，主要結(jié)構(gòu)緊湊，成本低廉。
從大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)的研發(fā)應(yīng)用中，我們作為各種分析儀器和真空設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)模型取得了許多成就，我們有各種衍生模型和選項。

配備流量傳感器，采用改進(jìn)的恒流溫差檢測方法，實現(xiàn)高速響應(yīng)

采用常閉閥門，方向操作**

通過電磁執(zhí)行器確保高可靠性

燃?xì)饪刂频牡蛪翰钜?guī)格（LP選項：**3660）

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

模型 3660 3665

流量范圍
（N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） 10SCCM~20SLM（可選） 30SLM~100SLM（可選）

傳感器方式熱繞組傳感器

閥門方法比例螺線管閥門（未通電時關(guān)閉）

控制范圍（* 1） 2~100％（F.S.） 5~100％（F.S.）

響應(yīng)速度在2秒內(nèi)
（在±2％F.S.內(nèi)）在3秒內(nèi)
（在±2％F.S.內(nèi)）

準(zhǔn)確性 ±1.0％F.S.（25°C） ±1.5％F.S.（25°C）

溫度系數(shù) ±0.1％F.S./°C（15~35°C） ±0.2％F.S./°C（15~35°C）

再現(xiàn)性 ±0.5%F.S.

操作壓差 F.S.≤5SLM 50~300 kPa（G） F.S.≤50SLM 150~300 kPa（G）

F. S.> 5 SLM 100~300 kPa（G） F. S.> 50 SLM 200~300 kPa（G）

可選：中壓差壓規(guī)格（MP），低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造

壓力（* 1） 980kPa（G）

He泄漏率（* 2） 1 x 10-8 Pa.m3/s以下

允許周圍溫度 5~45℃

允許環(huán)境濕度 10~90%RH（無結(jié)露）

氣體接觸材料主體SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼

閥座FKM（選件CR或NBR）

密封材料FKM（選件CR或NBR）

電氣連接 Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）

流量設(shè)定
輸入信號 0~5VDC
（輸入阻抗1MΩ以上）

流量輸出信號 0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上）

所需電源 +15 VDC（±5％）100 mA，。15 VDC（±5％）250 mA

接頭
（體型）標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F900
（9 / 16.18 UNF）
選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等標(biāo)準(zhǔn)3 / 8F 900
（9 / 16.18 UNF）
選項1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等

重量約1000g 約1500g

（* 1）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

警告

流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級側(cè)小于300kPa，次級側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件，請另行咨詢。

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標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器

模型	3660	3665
流量范圍（N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM）	10SCCM~20SLM（可選）	30SLM~100SLM（可選）
傳感器方式	熱繞組傳感器
閥門方法	比例螺線管閥門（未通電時關(guān)閉）
控制范圍（* 1）	2~100％（F.S.）	5~100％（F.S.）
響應(yīng)速度	在2秒內(nèi) （在±2％F.S.內(nèi)）	在3秒內(nèi) （在±2％F.S.內(nèi)）
準(zhǔn)確性	±1.0％F.S.（25°C）	±1.5％F.S.（25°C）
溫度系數(shù)	±0.1％F.S./°C（15~35°C）	±0.2％F.S./°C（15~35°C）
再現(xiàn)性	±0.5%F.S.
操作壓差	F.S.≤5SLM 50~300 kPa（G）	F.S.≤50SLM 150~300 kPa（G）
	F. S.> 5 SLM 100~300 kPa（G）	F. S.> 50 SLM 200~300 kPa（G）
	可選：中壓差壓規(guī)格（MP），低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造
壓力（* 1）	980kPa（G）
He泄漏率（* 2）	1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度	5~45℃
允許環(huán)境濕度	10~90%RH（無結(jié)露）
氣體接觸材料	主體SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼
	閥座FKM（選件CR或NBR）
	密封材料FKM（選件CR或NBR）
電氣連接	Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）
流量設(shè)定輸入信號	0~5VDC （輸入阻抗1MΩ以上）
流量輸出信號	0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上）
所需電源	+15 VDC（±5％）100 mA，。15 VDC（±5％）250 mA
接頭（體型）	標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F900 （9 / 16.18 UNF）選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等	標(biāo)準(zhǔn)3 / 8F 900 （9 / 16.18 UNF）選項1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等
重量	約1000g	約1500g