國(guó)內(nèi)總代原裝進(jìn)口華東總代國(guó)內(nèi)辦事處日本ULVAC愛發(fā)科沉積電源大容量直流電源DC-30-44H-E   國(guó)內(nèi)各區(qū)域均有售 

DC-30-44H-E

長(zhǎng)處

• 通過高速電弧切斷電路實(shí)現(xiàn)超低電弧能量。 它有助于提高生產(chǎn)率和產(chǎn)量。
• 1200V輸出，用于高阻抗負(fù)載。
• 它與EtherCAT兼容，有助于減少設(shè)備中的布線。

用

• FPD濺射機(jī)
• 半導(dǎo)體濺射設(shè)備
• 觸摸屏濺射裝置
• 工業(yè)鍍膜濺射設(shè)備

規(guī)范

型		DC-30-44H-E
輸入規(guī)格	輸入電壓	三相AC396V~484V
	輸入電容	41.5kVA以下
輸出規(guī)格	*大額定功率	30kW
	額定電流	65"
	額定電壓	-1200伏
	點(diǎn)火電壓	-1500伏
	異常放電控制	當(dāng)檢測(cè)到異常放電時(shí)，由高速電弧中斷電路中斷
控制	控制方式	恒功率控制（P控制）/恒流控制（I控制）/恒壓控制（V控制）
	控制精度	恒功率控制（P控制）：額定輸出的±0.5%以下或設(shè)定值的±1%，以較大者為準(zhǔn)，恒流控制（I控制）：額定輸出的±1%以下或設(shè)定值的±2%，以較大者為準(zhǔn)：額定輸出的±1%以下或設(shè)定值的±2%，以較大 者為準(zhǔn) 。
	控制保修范圍	額定功率的10~100%
	外部控制	模擬/數(shù)字，RS-232C 或 485，EtherCAT
并聯(lián)操作		*多 12 個(gè)單位
冷卻方式		強(qiáng)制風(fēng)冷
尺寸 W×D×H		483×650×177mm（不含突起部分）
質(zhì)量		45公斤
法規(guī)遵從性		CE / SEMI F47 / RoHS認(rèn)證