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日本TORAY東麗 測(cè)量和分析設(shè)備


半導(dǎo)體和電子元件

半導(dǎo)體制造過(guò)程中的氧氣污染對(duì)產(chǎn)品和產(chǎn)品的質(zhì)量有重大影響。 因此，監(jiān)測(cè)設(shè)備中大氣氣體的血氧儀對(duì)于前端和后處理都是必不可少的。
我們的血氧儀，尤其是即使在真空環(huán)境中也能進(jìn)行測(cè)量的傳感器分離產(chǎn)品，結(jié)合了強(qiáng)大的功能和節(jié)省空間，可實(shí)現(xiàn)超快速響應(yīng)和多點(diǎn)測(cè)量，并被許多主要設(shè)備制造商使用。

氧化鋯血氧儀

LD-450/SD 傳感器
小于 10 頁(yè)/分鐘
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
負(fù)壓/大氣壓
直流電源
模擬輸出
串行通信輸出
CE 標(biāo)志
可節(jié)省安裝空間
可選擇模擬輸出或串行通信輸出
適用于真空環(huán)境
超快響應(yīng)
使用具有
特殊涂層的高耐用性傳感器

氧化鋯 EtherCAT 血氧儀
LD-600/SD 傳感器
小于 10 頁(yè)/分鐘
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
負(fù)壓/大氣壓
直流電源
EtherCAT 技術(shù)
CE 標(biāo)志
可以進(jìn)行 EtherCAT 通信
兼容真空氣氛
超快響應(yīng)
使用具有
特殊涂層的高耐用性傳感器



氧化鋯多點(diǎn)血氧儀
MS-500/MS-510/SD 傳感器
小于 10 頁(yè)/分鐘
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
負(fù)壓/大氣壓
直流電源
串行通信輸出
CE 標(biāo)志
*多可同時(shí)測(cè)量 8 個(gè)點(diǎn)
還支持可選的 LAN 輸出。
適用于真空環(huán)境
超快響應(yīng)
使用具有

特殊涂層的高耐用性傳感器





氧化鋯血氧儀
LC-450A
小于 10 頁(yè)/分鐘
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大氣壓/加壓
AC 電源
模擬輸出
串行通信輸出
CE 標(biāo)志
可在較寬的濃度范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量
提高傳感器耐用性
AC100~240V 寬幅電源
模擬輸出：4-20mA
結(jié)構(gòu)緊湊，易于安裝


氧化鋯血氧儀
LC-450D
小于 10 頁(yè)/分鐘
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大氣壓/加壓
直流電源
模擬輸出
串行通信輸出
CE 標(biāo)志
可在較寬的濃度范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量
提高傳感器耐用性
DC24V 電源
模擬輸出：0-10V
結(jié)構(gòu)緊湊，易于安裝

氧化鋯血氧儀LC-860

小于 10 頁(yè)/分鐘
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大氣壓/加壓
AC 電源
模擬輸出
串行通信輸出
CE 標(biāo)志
可在較寬的濃度范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量
使用特定功能的按鍵輕松操作
高可靠性傳感器
自動(dòng)量程功能
內(nèi)置遠(yuǎn)程泵操作功能




氧化鋯血氧儀
LC-750L 系列 （低濃度用）
小于 10 頁(yè)/分鐘
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大氣壓/加壓
AC 電源
模擬輸出
低濃度測(cè)量
適用于清潔氣體測(cè)量
通過(guò)手動(dòng)范圍切換進(jìn)行簡(jiǎn)單設(shè)置

氧化鋯血氧儀
RF-400-01
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大氣壓/加壓
AC 電源
模擬輸出
串行通信輸出
CE 標(biāo)志
兩種類型的過(guò)濾器可捕獲油、助焊劑、硅、鹵素等。
AC100~240V 寬幅電源
10ppm ~ 100% 的寬測(cè)量范圍
標(biāo)配 RS-232C 通信

氧化鋯血氧儀
RF-400 *已停產(chǎn)
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大氣壓/加壓
AC 電源
模擬輸出
串行通信輸出
兩種類型的過(guò)濾器可捕獲油、助焊劑、硅、鹵素等。
AC100~240V 寬幅電源
10ppm ~ 100% 的寬測(cè)量范圍