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半導(dǎo)體專用設(shè)備MA-60F光刻機(jī)日本MIKASA株式會(huì)社MIKASA米卡薩



日本MIKASA株式會(huì)社對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)：提供技術(shù)支持，安裝，培訓(xùn)！MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、日本MIKASA株式會(huì)社旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)：MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（ 密封）日本MIKASA株式會(huì)社顯影刻蝕裝置：AD-1200AD-3000ED-1200ED-3000



*大電路板尺寸
φ6英寸 顯微鏡分辨率 使用物鏡20×?xí)r
1.2μm
*大基板厚度
2㎜
*大蒙版大小
7×7 英寸 對(duì)齊
間隙長(zhǎng)度測(cè)量功能 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
紫外線燈屋
集成器類型
照度
＞18mW/c㎡(at405nm) 操縱器
移動(dòng)范圍 X/Y ± 5mm 微動(dòng) 1/8mm 1 圈
θ：70° 微動(dòng)±7°
Z：4mm（氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)分鐘 1mm/粗動(dòng)
3mm）
微動(dòng) 0.16mm
照度均勻性 ＜±5.0％
曝光光源 UV 燈 250W
十字級(jí)
移動(dòng)范圍 X/Y ±20mm
曝光波長(zhǎng) 寬帶（g、h、i 線）
曝光計(jì)時(shí)器 0~999.9秒定時(shí)器設(shè)置式
1~9999計(jì)數(shù)
累計(jì)光量計(jì)數(shù)器式
切換方式 氣壓 用于掩膜級(jí) 0.5MPa
氮?dú)?N2 吹氣用 0.5MPa
UV 燈
退化補(bǔ)償功能 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備 真空 掩模和基板吸附用
-0.08MPa
如何聯(lián)系
軟觸點(diǎn)
/硬觸點(diǎn) 除振臺(tái) 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
電源 AC100～110V 50/60Hz 20A
對(duì)齊范圍
雙視場(chǎng)顯微鏡
物鏡間隔 18-60mm 外部尺寸
（包括 mm/除振臺(tái)） 1130W×1650H×800D
重量 360㎏